Driving Voltage Reduction of a Micromechanical Optical Switch Driven by Electrostatic Force Using an S-Shaped Deformable Thin-Film Mirror

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Driving Voltage Reduction of a Micromechanical Optical Switch Driven by Electrostatic Force Using an S-Shaped Deformable Thin-Film Mirror

著者

和文:	佐藤海二.
英文:	Kaiji Sato.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing

巻, 号, ページ

Vol. 7 No. 3 pp. 410-421

出版年月

2013年5月2日

出版者

和文:	日本機械学会
英文:	Japan Society of Mechanical Engineers

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

DOI