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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:X-Y-θ Nano-Positioning Table System for a Mother Machine 
著者
和文: 新野 秀憲, 橋詰 等, 吉岡 勇人, K.Komatsu, 進士 忠彦, 佐藤 海二.  
英文: H.Shinno, H.Hashizume, H.Yoshioka, K.Komatsu, T.SHINSHI, K.SATO.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Annals of the CIRP 
巻, 号, ページ Vol. 53    No. 1    pp. 337-340
出版年月 2004年8月 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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DOI https://doi.org/10.1016/S0007-8506(07)60711-2

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