Evaluation of etching on amorphous carbon films in nitric acid

論文・著書情報

タイトル

和文:	Evaluation of etching on amorphous carbon films in nitric acid
英文:	Evaluation of etching on amorphous carbon films in nitric acid

著者

和文:	Yasushi Sasaki, Aoi Takeda, Kiyoto Ii, Shigeo Ohshio, Hiroki Akasaka, Masayuki Nakano, Hidetoshi Saitoh.
英文:	Yasushi Sasaki, Aoi Takeda, Kiyoto Ii, Shigeo Ohshio, Hiroki Akasaka, Masayuki Nakano, Hidetoshi Saitoh.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	Diamond & Related Materials
英文:	Diamond & Related Materials

巻, 号, ページ

Vol. 24 pp. 104-106

出版年月

2012年1月6日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

DOI