CMOSとMEMS集積のためのシミュレーション解析-集積化CMOS-MEMSデバイス実現に向けて-

論文・著書情報

タイトル

和文:	CMOSとMEMS集積のためのシミュレーション解析-集積化CMOS-MEMSデバイス実現に向けて-
英文:

著者

和文:	小西敏文, 山根大輔, 松島隆明, 町田克之, 益一哉, 年吉洋.
英文:	Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Takaaki Matsushima, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Hiroshi Toshiyoshi.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

SIPH2013-99

出版年月

2013年10月18日

出版者

和文:
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会議名称

和文:	電子情報通信学会シリコン・フォトニクス研究会
英文:

開催地

和文:	東京
英文:

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