A Micro Polydimenthylsiloxane Diaphragm Integrated with Sputtered Thin Film NdFeB Magnet

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A Micro Polydimenthylsiloxane Diaphragm Integrated with Sputtered Thin Film NdFeB Magnet

著者

和文:	ZHI CHAO, 進士忠彦, Minoru Uehara, 松谷晃宏, Isamu Yuito, Teruaki Takeuchi.
英文:	Chao Zhi, Tadahiko Shinshi, Minoru Uehara, Akihiro Matsutani, Isamu Yuito, Teruaki Takeuchi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of the 17th International Conference On Mechatronic Technology

巻, 号, ページ

p. 80-83

出版年月

2013年

出版者

和文:
英文:	International Conference On Mechatronics Technology

会議名称

和文:
英文:	The 17th International Conference On Mechatronic Technology

開催地

和文:
英文:	Jeju Island