ECFジェット駆動偏心チューブマイクロアクチュエータの特性評価

論文・著書情報

タイトル

和文:	ECFジェット駆動偏心チューブマイクロアクチュエータの特性評価
英文:	Study on an Eccentric Tube Type Microactuator Driven by ECF Jet

著者

和文:	佐藤政哉, 金俊完, 横田眞一, 枝村一弥.
英文:	Masaya Satoh, Joon-wan KIM, SHINICHI YOKOTA, Kazuya Edamura.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	山梨講演会講演論文集
英文:

巻, 号, ページ

No. 130-3 pp. 26-27

出版年月

2013年10月26日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	山梨講演
英文:	Yamanashi District Conference

開催地

和文:	山梨県
英文: