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論文・著書情報


タイトル
和文:マルチフィジクスシミュレーションを用いた集積化CMOS-MEMS技術のためのセンサ回路の検討 
英文: 
著者
和文: 小西敏文, 山根大輔, 松島隆明, 丸山智史, 加賀谷 賢, 伊藤浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田克之, 益 一哉.  
英文: Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Takaaki Matsushima, Satoshi Maruyama, Ken Kagaya, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 6PM3-PIM-001
出版年月 2013年11月5日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:応用物理学会集積化ＭＥＭＳ技術研究会 第５回集積化ＭＥＭＳシンポジウム 
英文: 
開催地
和文:宮城県仙台市 
英文: 
公式リンク http://www.sensorsymposium.org/index_j.html
 

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