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論文・著書情報


タイトル
和文:TiN 薄膜モールドを用いたナノインプリント法と焼鈍法による規則的金属ナノドットアレイの効率的創製 
英文: 
著者
和文: 保土田 亮, 山中 晃徳, 吉野 雅彦.  
英文: Ryou Hotoda, Akinori Yamanaka, MASAHIKO YOSHINO.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:日本機械学会論文集C編 
英文: 
巻, 号, ページ vol. 78    no. 796    p. 3995
出版年月 2012年 
出版者
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会議名称
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開催地
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DOI https://doi.org/10.1299/kikaic.78.3995

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