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論文・著書情報


タイトル
和文:VHFプラズマにより作製したナノ結晶シリコン中のトラップの評価 
英文: 
著者
和文: 近藤信啓, 舩木健伍, 中峯嘉文, 宇佐美浩一, 小寺哲夫, 河野行雄, 小田俊理.  
英文: Nobuhiro Kondo, Kengo Funaki, Yoshifumi Nakamine, kouichi usami, Tetsuo Kodera, Yukio Kawano, SHUNRI ODA.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2013年9月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第74回応用物理学会秋季学術講演会 
英文: 
開催地
和文:京田辺市 
英文: 

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