Amorphous-Silicon Inter-Layer Grating Couplers with Metal Mirrors toward 3D Interconnection

JoonHyun Kang; Yuki Atsumi; Yuusuke Hayashi; Junichi Suzuki; Yuki Kuno; Tomohiro Amemiya; Nobuhiko Nishiyama; Shigehisa Arai

doi:http://dx.doi.org/10.1109/JSTQE.2014.2300058

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Amorphous-Silicon Inter-Layer Grating Couplers with Metal Mirrors toward 3D Interconnection

著者

和文:	姜晙炫, 渥美裕樹, 林侑介, 鈴木純一, 久能雄輝, 雨宮智宏, 西山伸彦, 荒井滋久.
英文:	JoonHyun Kang, Yuki Atsumi, Yuusuke Hayashi, Junichi Suzuki, Yuki Kuno, Tomohiro Amemiya, Nobuhiko Nishiyama, Shigehisa Arai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Journal of Selected Topics in Quantum Electronics

巻, 号, ページ

Vol. 20 No. 4 8202308

出版年月

2014年7月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

公式リンク

http://ieeexplore.ieee.org/xpls/abs_all.jsp?arnumber=6712038

DOI

http://dx.doi.org/10.1109/JSTQE.2014.2300058

アブストラクト

Inter-layer grating couplers sandwiched by two metal layers were demonstrated for high coupling efficiency vertical coupling between amorphous-Si:H (a-Si:H) multi-stacked optical waveguides. A coupling efficiency of 83% was achieved with grating couplers formed on 5 μm wide waveguides separated by 1 μm while theoretical coupling efficiency of 90% was obtained.

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