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論文・著書情報
タイトル
和文:
集積化CMOS-MEMSへ向けた2軸加速度センサの基礎検討
英文:
著者
和文:
山根大輔
,
松島隆明
,
小西敏文
,
年吉 洋
,
町田克之
,
益 一哉
.
英文:
Daisuke Yamane
,
Takaaki Matsushima
,
Toshifumi Konishi
,
Hiroshi Toshiyoshi
,
Katsuyuki Machida
,
Kazuya Masu
.
言語
Japanese
掲載誌/書名
和文:
英文:
巻, 号, ページ
pp. MSS-14-002
出版年月
2014年5月27日
出版者
和文:
英文:
会議名称
和文:
平成26年電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会
英文:
開催地
和文:
東京都
英文:
公式リンク
http://www.iee.jp/?post_type=custom_event&p=7854
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