Light Propagation Properties of Si Waveguides after Removing III-V Layer on a III-V/SOI Wafer Fabricated by Plasma Activated Bonding

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Light Propagation Properties of Si Waveguides after Removing III-V Layer on a III-V/SOI Wafer Fabricated by Plasma Activated Bonding

著者

和文:	鈴木純一, 林侑介, 久能雄輝, 姜晙炫, 雨宮智宏, 西山伸彦, 荒井滋久.
英文:	J. Suzuki, Y. Hayashi, Y. Kuno, J.H. Kang, T. Amemiya, N. Nishiyama, S. Arai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2014年7月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	4th IEEE International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration (LTB-3D 2014)

開催地

和文:
英文:	Tokyo, Japan