AlGaN/GaN高電子移動度トランジスタへの凹凸AlGaN層導入による低抵抗コンタクト形成の可能性

論文・著書情報

タイトル

和文:	AlGaN/GaN高電子移動度トランジスタへの凹凸AlGaN層導入による低抵抗コンタクト形成の可能性
英文:

著者

和文:	神谷真行, 武井優典, 齋藤渉, 角嶋邦之, 若林整, 片岡好則, 筒井一生, 岩井洋.
英文:	Masayuki Kamiya, Yusuke Takei, 齋藤渉, Kuniyuki KAKUSHIMA, Hitoshi Wakabayashi, Yoshinori Kataoka, KAZUO TSUTSUI, HIROSHI IWAI.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2014年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第61回応用物理学会春季学術講演会
英文:

開催地

和文:
英文: