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論文・著書情報


タイトル
和文:Investigation of ROS Production Process using Multi-Gas Plasma 
英文:Investigation of ROS Production Process using Multi-Gas Plasma 
著者
和文: Toshihiro Takamatsu, Yota Sasaki, Hidekazu Miyahara, Yuriko Matsumura, Atsuo Iwasawa, Masahiro Kohno, Takeshi Azuma, Akitoshi Okino.  
英文: Toshihiro Takamatsu, Yota Sasaki, Hidekazu Miyahara, Yuriko Matsumura, Atsuo Iwasawa, Masahiro Kohno, Takeshi Azuma, Akitoshi Okino.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ         SPACC7
出版年月 2014年11月1日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:THE 21ST INTERNATIONAL SPACC SYMPOSIUM 
英文:THE 21ST INTERNATIONAL SPACC SYMPOSIUM 
開催地
和文:東京 
英文: 

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