Investigation of the effect of oxygen gas on properties of GAZO thin films fabricated by facing targets sputtering system

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Investigation of the effect of oxygen gas on properties of GAZO thin films fabricated by facing targets sputtering system

著者

和文:	Hong JeongSoo, 松下伸広, K.H. Kim.
英文:	J.S. Hong, N. Matsushita, K.H. Kim.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Semiconductor Science and Technology

巻, 号, ページ

Vol. 29 No. 7

出版年月

2014年4月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI