熱応力・静電力駆動のマイクロマシンを用いたアサーマル波長可変面発光レーザ

論文・著書情報

タイトル

和文:	熱応力・静電力駆動のマイクロマシンを用いたアサーマル波長可変面発光レーザ
英文:	Athermal Tunable VCSEL with Thermally- and Electrostatically-actuated Micromachined Mirror

著者

和文:	中濵正統, 坂口孝浩, 松谷晃宏, 小山二三夫.
英文:	Masanori Nakahama, Takahiro Sakaguchi, Akihiro Matsutani, Fumio Koyama.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

vol. 114 no. 378 pp. 27-30

出版年月

2014年12月

出版者

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会議名称

和文:	電子情報通信学会 LQE2014
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開催地

和文:
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