多自由度・高応答レンズ駆動アクチュエータによる厚板レーザ加工の高速・高品質化の研究 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	多自由度・高応答レンズ駆動アクチュエータによる厚板レーザ加工の高速・高品質化の研究
英文:

著者

和文:	森本貴景.
英文:	Yoshihiro Morimoto.

種別

種別:	学位論文(博士)
国名:	日本

言語

Japanese

学位授与組織

東京工業大学

報告番号

甲第9863号

学位授与日

2015/03/26

審査員

進士　忠彦, 北條　春夫, 初澤　毅, 佐藤　海二, 吉岡　勇人, 比田井　洋史.

ファイル

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