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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Chaper 9: Nanoscale Cu Wiring by Electrodeposition in Supercritical Carbon Dioxide Emulsified Electrolyte 
著者
和文: 曽根 正人, 清水哲也, 篠田 奈緒, TSO-FU MARK CHANG.  
英文: Masato Sone, Tetsuya Shimizu, Nao Shinoda, Tso-Fu Mark Chang.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Electroplating of Nanostructure 
巻, 号, ページ         pp. 189-210
出版年月 2015年12月2日 
出版者
和文: 
英文:INTECH 
会議名称
和文: 
英文: 
開催地
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英文: 

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