側壁プロセス配線におけるカットパターン削減手法

論文・著書情報

タイトル

和文:	側壁プロセス配線におけるカットパターン削減手法
英文:	A cut-pattern reduction method for routing in Self-Aligned Double Patterning

著者

和文:	高橋紀之, 井原岳志, 高橋篤司.
英文:	Noriyuki Takahashi, Takeshi Ihara, Atsushi Takahashi.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	電子情報通信学会技術研究報告 (VLD2014-154)
英文:	IEICE Technical Report (VLD2014-154)

巻, 号, ページ

Vol. 114 No. 476 pp. 7-12

出版年月

2015年3月2日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	VLSI設計技術研究会
英文:	Technical Committee on VLSI Design Technologies

開催地

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