Effect of Ultra-Thin Pt Layer on the Preferred Orientation of AlN Films

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effect of Ultra-Thin Pt Layer on the Preferred Orientation of AlN Films

著者

和文:	春本高志, 村石信二, 史蹟, 中村吉男.
英文:	Takashi Harumoto, Shinji Muraishi, Ji Shi, Yoshio Nakamura.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Materials Science Forum

巻, 号, ページ

Vol. 654-656 pp. 1776

出版年月

2010年6月

出版者

和文:
英文:	Materials Australia

会議名称

和文:
英文:	The 7th Pacific Rim International Conference on Advanced Materials and Processing

開催地

和文:
英文:	Carins

公式リンク

DOI