A Dual-Axis MEMS Capacitive Inertial Sensor with High-Density Proof Mass

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A Dual-Axis MEMS Capacitive Inertial Sensor with High-Density Proof Mass

著者

和文:	山根大輔, 松島隆明, 小西敏文, 年吉洋, 益一哉, 町田克之.
英文:	Daisuke Yamane, Takaaki Matsushima, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Microsystem Technologies

巻, 号, ページ

Vol. 22 pp. 459-464

出版年月

2015年4月26日

出版者

和文:
英文:	Springer Berlin Heidelberg

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

DOI