In-situ internal stress observation of ferromagnetic thin films at the initial stage of the film growth during sputter-deposition process

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	In-situ internal stress observation of ferromagnetic thin films at the initial stage of the film growth during sputter-deposition process

著者

和文:	林原久憲, 中込将成, 高村陽太, 中川茂樹.
英文:	H. Hayashibara, M. Nakagome, Y. Takamura, S. Nakagawa.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	2015 IEEE International Magnetics Conference (INTERMAG)

巻, 号, ページ

HC-11

出版年月

2015年5月15日

出版者

和文:
英文:	IEEE

会議名称

和文:
英文:	IEEE International Magnetics Conference (Intermag)

開催地

和文:	北京
英文:	Beijing

DOI