A 0.1G-to-20G Integrated MEMS Inertial Sensor

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A 0.1G-to-20G Integrated MEMS Inertial Sensor

著者

和文:	山根大輔, 小西敏文, 松島隆明, 年吉洋, 益一哉, 町田克之.
英文:	Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

Volume 54 Number 8 pp. 087202.1-087202.4

出版年月

2015年7月7日

出版者

和文:
英文:	The Japan Society of Applied Physics

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

DOI