Study on Ti/Au Two-Layered Cantilevers with different Aspect Ratio for MEMS Devices

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Study on Ti/Au Two-Layered Cantilevers with different Aspect Ratio for MEMS Devices

著者

和文:	寺西美波, TSO-FU MARK CHANG, 陳君怡, 小西敏文, 町田克之, 年吉洋, 山根大輔, 益一哉, 曽根正人.
英文:	Minami Teranishi, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Masato Sone.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	SSDM2015, 2015 International Conference on Solid State Devises and Materials

巻, 号, ページ

pp. 52-53

出版年月

2015年9月27日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	SSDM2015, 2015 International Conference on Solid State Devises and Materials

開催地

和文:
英文:	Sapporo