Fabrication process of carbon nanotube FETs using ALD passivation for biosensors

論文・著書情報

タイトル

和文:	Fabrication process of carbon nanotube FETs using ALD passivation for biosensors
英文:	Fabrication process of carbon nanotube FETs using ALD passivation for biosensors

著者

和文:	Y. Nakashima, Y. Ohno, S. Kishimoto, S. Kishimoto, M. Okochi, H. Honda, T. Mizutani.
英文:	Y. Nakashima, Y. Ohno, S. Kishimoto, S. Kishimoto, M. Okochi, H. Honda, T. Mizutani.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	Digest of Papers - Microprocesses and Nanotechnology 2007; 20th International Microprocesses and Nanotechnology Conference, MNC
英文:	Digest of Papers - Microprocesses and Nanotechnology 2007; 20th International Microprocesses and Nanotechnology Conference, MNC

巻, 号, ページ

pp. 488-489

出版年月

2007年12月1日

出版者

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会議名称

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開催地

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DOI