Self-Aligned Quadruple Patterningのための配線パターンの効率的な生成手法

論文・著書情報

タイトル

和文:	Self-Aligned Quadruple Patterningのための配線パターンの効率的な生成手法
英文:	Effective Routing Pattern Generation Method for Self-Aligned Quadruple Patterning

著者

和文:	井原岳志, 本江俊幸, 高橋篤司.
英文:	Takeshi Ihara, Toshiyuki Hongo, Atsushi Takahashi.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	DAシンポジウム2015 論文集，情報処理学会シンポジウムシリーズ
英文:	Proc. DA Symposium 2015, IPSJ Symposium Series

巻, 号, ページ

Vol. 2015 pp. 125-130

出版年月

2015年8月19日

出版者

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会議名称

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開催地

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