High aspect ratio micro-hole filling employing emulsified supercritical CO2 electrolytes

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	High aspect ratio micro-hole filling employing emulsified supercritical CO2 electrolytes

著者

和文:	Cheng-Yu Li, Jun-Jie Yang, Wen-Ta Tsai, Chang-Jian Lin, TSO-FU MARK CHANG, 曽根正人.
英文:	Cheng-Yu Li, Jun-Jie Yang, Wen-Ta Tsai, Chang-Jian Lin, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	The Journal of Supercritical Fluids

巻, 号, ページ

Vol. 109 pp. 61-66

出版年月

2016年2月26日

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: