ECF MICROPUMP FABRICATED BY ELECTROFORMING WITH NOVEL SELF-ALIGNED MICRO-MOLDING TECHNOLOGY

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	ECF MICROPUMP FABRICATED BY ELECTROFORMING WITH NOVEL SELF-ALIGNED MICRO-MOLDING TECHNOLOGY

著者

和文:	HAN DONG, 金俊完, 横田眞一, 枝村一弥.
英文:	Dong HAN, J.W. KIM, S.YOKOTA, E.EDAMURA.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Journal of Physics: Conference Series

巻, 号, ページ

Vol. 660 No. 1 pp. 012029

出版年月

2015年12月1日

出版者

和文:
英文:	IOP Publishing

会議名称

和文:
英文:	The 15th International Conference on Micro and Nanotechnology for Power Generationand Energy Conversion Applications (PowerMEMS 2015)

開催地

和文:
英文:	Boston

DOI