Structure Stability of High Aspect Ratio Ti/Au Two-Layer Cantilevers for Applications in MEMS Accelerometers

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Structure Stability of High Aspect Ratio Ti/Au Two-Layer Cantilevers for Applications in MEMS Accelerometers

著者

和文:	寺西美波, TSO-FU MARK CHANG, 陳君怡, 小西敏文, 町田克之, 山根大輔, 益一哉, 曽根正人, 曽根正人.
英文:	Minami Teranishi, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Masato Sone.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Microelectronics Engineering

巻, 号, ページ

Vol. 153 pp. 90-93

出版年月

2016年4月1日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

DOI