Inverse analysis of accelerator distribution in copper through silicon via filling

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Inverse analysis of accelerator distribution in copper through silicon via filling

著者

和文:	Tatsuro Matsuoka, Keiichi Otsubo, 大西有希, 天谷賢治, 早瀬仁則.
英文:	Tatsuro Matsuoka, Keiichi Otsubo, Yuki Onishi, Kenji Amaya, Masanori Hayase.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Electrochimica Acta

巻, 号, ページ

Vol. 82 No. 1 pp. 365-362

出版年月

2012年11月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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