Atomic Step Patterning on Quartz Glass via Thermal Nanoimprinting

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Atomic Step Patterning on Quartz Glass via Thermal Nanoimprinting

著者

和文:	Osamu Suga, 吉本護, Chieko Okuyama, 松田晃史, Hiroshi Hiroshima, Masaharu Takahashi.
英文:	Osamu Suga, Mamoru Yoshimoto, Chieko Okuyama, Akifumi Matsuda, Hiroshi Hiroshima, Masaharu Takahashi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

Volume 54 Number 9 098001

出版年月

2015年8月5日

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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