Numerical simulation of plasma confinement in DC magnetron sputtering under different magnetic fields and anode structures

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Numerical simulation of plasma confinement in DC magnetron sputtering under different magnetic fields and anode structures

著者

和文:	Junichi Kageyama, 吉本護, 松田晃史, Yasuhiko Akao, Eiji Shidoji.
英文:	Junichi Kageyama, Mamoru Yoshimoto, Akifumi Matsuda, Yasuhiko Akao, Eiji Shidoji.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Jpn. J. Appl. Phys.

巻, 号, ページ

Vol. 13 pp. 088001(1)–(3)

出版年月

2014年7月14日

出版者

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会議名称

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開催地

和文:
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