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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Dynamics and Control of Ultra-precision Two-stage Positioning System 
著者
和文: Akira SHIMOKOHBE, 佐藤 海二, Fumio SHINANO, 進士忠彦.  
英文: Akira SHIMOKOHBE, Kaiji SATO, Fumio SHINANO, TADAHIKO SHINSHI.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Proc. of 9th IPES 
巻, 号, ページ     No. 2    pp. 495,498
出版年月 1997年 
出版者
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会議名称
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開催地
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英文: 

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