熱ナノインプリント法によるポリマーシート上への原子スケール形状転写における雰囲気・表界面状態の影響

論文・著書情報

タイトル

和文:	熱ナノインプリント法によるポリマーシート上への原子スケール形状転写における雰囲気・表界面状態の影響
英文:	The effect of atmosphere and interfacial state on atomic-scale transcription onto the polymer surface by thermal nanoimprint

著者

和文:	木下太一郎, 嶋田航大, 小山浩司, 三田正弘, 金子智, 松田晃史, 吉本護.
英文:	Taichiro Kinoshita, Kodai Shimada, Koji Koyama, Masahiro Mita, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, MAMORU YOSHIMOTO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第77回応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集
英文:	The 77th JSAP Autumn Meeting, 2016 Extended Abstracts

巻, 号, ページ

出版年月

2016年9月1日

出版者

和文:	公益社団法人応用物理学会
英文:	The Japan Society of Applied Physics

会議名称

和文:	第77回応用物理学会秋季学術講演会
英文:	The 77th JSAP Autumn Meeting, 2016

開催地

和文:	新潟県新潟市
英文:	Niigata City

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