熱ナノインプリント法による非晶質材料表面へのシングルナノパターン転写

論文・著書情報

タイトル

和文:	熱ナノインプリント法による非晶質材料表面へのシングルナノパターン転写
英文:	Single-nano patterning on surfaces of glassy materials by thermal nanoimprint

著者

和文:	船迫友之, 野沢靖久, 譚ゴオン, 三田正弘, 金子智, 松田晃史, 吉本護.
英文:	Tomoyuki Funabasama, Yasuhisa Nozawa, Geng Tan, Masahiro Mita, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, MAMORU YOSHIMOTO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第75回応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集
英文:	The 75th JSAP Autumn Meeting, 2014 Extended Abstracts

巻, 号, ページ

出版年月

2014年9月1日

出版者

和文:	公益社団法人応用物理学会
英文:	The Japan Society of Applied Physics

会議名称

和文:	第75回応用物理学会秋季学術講演会
英文:	The 75th JSAP Autumn Meeting, 2014

開催地

和文:	北海道札幌市
英文:	Sapporo City

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