熱ナノインプリント法によるガラス基板表面のシングルナノパターニングと薄膜成長制御

論文・著書情報

タイトル

和文:	熱ナノインプリント法によるガラス基板表面のシングルナノパターニングと薄膜成長制御
英文:	Single-nano scale patterning of glass substrate surface by thermal nanoimprint process for novel growth control of thin films

著者

和文:	野沢靖久, 譚ゴオン, 船迫友之, 金子智, 松田晃史, 吉本護.
英文:	Yasuhisa Nozawa, Geng Tan, Tomoyuki Funabasama, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, MAMORU YOSHIMOTO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第75回応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集
英文:	The 75th JSAP Autumn Meeting, 2014 Extended Abstracts

巻, 号, ページ

出版年月

2014年9月1日

出版者

和文:	公益社団法人応用物理学会
英文:	The Japan Society of Applied Physics

会議名称

和文:	第75回応用物理学会秋季学術講演会
英文:	The 75th JSAP Autumn Meeting, 2014

開催地

和文:	北海道札幌市
英文:	Sapporo City

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