表面処理用高速ジェット式パルスプラズマ源の開発

論文・著書情報

タイトル

和文:	表面処理用高速ジェット式パルスプラズマ源の開発
英文:	Development of high-speed jet pulsed plasma source for surface treatment

著者

和文:	小笠原大介, 川野浩明, 掛川賢, 宮原秀一, 沖野晃俊.
英文:	Daisuke Ogasawara, Hiroaki Kawano, Ken Kakegawa, hidekadzu miyahara, AKITOSHI OKINO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

Page 79

出版年月

2016年9月13日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第77回応用物理学会秋季学術講演会
英文:	JSAP Autumn Meeting, 2016

開催地

和文:	新潟
英文: