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タイトル
和文:Changes of chemical structure of hydrogenated amorphous silicon carbide films with the application of radio-frequency bias voltages during chemical vapor deposition 
英文:Changes of chemical structure of hydrogenated amorphous silicon carbide films with the application of radio-frequency bias voltages during chemical vapor deposition 
著者
和文: Haruhiko Ito, Takeshi Ogaki, Motoki Kumakura, Shunsuke Saeki, Tsuneo Suzuki, Hiroki Akasaka, Hidetoshi Saitoh.  
英文: Haruhiko Ito, Takeshi Ogaki, Motoki Kumakura, Shunsuke Saeki, Tsuneo Suzuki, Hiroki Akasaka, Hidetoshi Saitoh.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文:Diamond and Related Materials 
英文:Diamond and Related Materials 
巻, 号, ページ Vol. 66        pp. 1-9
出版年月 2016年3月10日 
出版者
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会議名称
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開催地
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DOI https://doi.org/10.1016/j.diamond.2016.03.006

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