固相成長による配向制御したHfO2基強誘電体薄膜の作製と特性評価

論文・著書情報

タイトル

和文:	固相成長による配向制御したHfO2基強誘電体薄膜の作製と特性評価
英文:

著者

和文:	三村和仙, 片山きりは, 清水荘雄, 内田寛, 木口賢紀, 赤間章裕, 今野豊彦, 坂田修身, 舟窪浩.
英文:	Takanori Mimura, Kiriha Katayama, Takao Shimizu, Hiroshi Uchida, Takanori Kiguchi, 赤間章裕, Toyohiko Konno, Osami Sakata, HIROSHI FUNAKUBO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2016年3月19日

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第63回応用物理学会春季学術講演会
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開催地

和文:	東京都
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