電磁場逆解析によるリアルタイムモニタリング技術に関する研究 : LSIめっき制御および脳機能診断への応用

論文・著書情報

タイトル

和文:	電磁場逆解析によるリアルタイムモニタリング技術に関する研究 : LSIめっき制御および脳機能診断への応用
英文:	Studies of real-time monitoring techniques by inverse analysis of electromagnetic field : applications to LSI electroplating control and brain function diagnostics

著者

和文:	岸本喜直.
英文:	Yoshinao Kishimoto.

種別

種別:	学位論文(博士)
国名:	日本

言語

Japanese

学位授与組織

東京工業大学

報告番号

甲第8083号

学位授与日

2010/03/26

審査員

天谷賢治.

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