マルチフィジクスシミュレーションを用いたCMOS-MEMS慣性センサのノイズ解析手法

論文・著書情報

タイトル

和文:	マルチフィジクスシミュレーションを用いたCMOS-MEMS慣性センサのノイズ解析手法
英文:

著者

和文:	小西敏文, 山根大輔, 伊藤浩之, 道正志郎, 石原昇, 年吉洋, 益一哉, 町田克之.
英文:	Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

p. 25am2-PM-007

出版年月

2016年10月24日

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第8回集積化MEMSシンポジウム
英文:

開催地

和文:	長崎県
英文:

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