Vacuum ultraviolet light assisted nano-pattern transfer to fabricate nanostructure with heterogeneous materials

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Vacuum ultraviolet light assisted nano-pattern transfer to fabricate nanostructure with heterogeneous materials

著者

和文:	橋本優生, 茂木克雄, 山本貴富喜.
英文:	Yuki Hashimoto, Katsuo Mogi, Takatoki Yamamoto.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2016年9月19日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	42nd Micro and Nano Engineering (MNE 2016)

開催地

和文:
英文:	Vienna