Preparation and Characterization of Au-Cu Alloy Films for MEMS Accelerometer

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Preparation and Characterization of Au-Cu Alloy Films for MEMS Accelerometer

著者

和文:	陳君怡, Tang Hao-Chun, 葭葉将治, Chang Tso-Fu Mark, 山根大輔, 町田克之, 益一哉, 曽根正人.
英文:	Chun-Yi Chen, Hao-Chun Tang, Masaharu Yoshiba, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2017年4月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	21st Topical Meeting of the International Society of Electrochemistry

開催地

和文:
英文:	Szeged