Buffer-Layer Enhanced Heteroepitaxy of β-Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>:(Sn, Si) Thin Films by Room-Temperature Excimer Laser Annealing

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Buffer-Layer Enhanced Heteroepitaxy of β-Ga₂O₃:(Sn, Si) Thin Films by Room-Temperature Excimer Laser Annealing

著者

和文:	松田晃史, 塩尻大士, 内田啓貴, 中村稀星, Yanna Chen, 坂田修身, 土嶺信男, 金子智, 吉本護.
英文:	Akifumi Matsuda, Daishi Shiojiri, Hiroki Uchida, Kisho Nakamura, Yanna Chen, Osami Sakata, Nobuo Tsuchimine, Satoru Kaneko, Mamoru Yoshimoto.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2016年11月27日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2016 MRS Fall Meeting & Exhibit

開催地

和文:	ボストン
英文:	Boston

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