FEM Simulation on Structure Stability of Ti/Au Multi-Layered Cantilevers with Various Dimensions for Applications as Movable Structures in MEMS Devices

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	FEM Simulation on Structure Stability of Ti/Au Multi-Layered Cantilevers with Various Dimensions for Applications as Movable Structures in MEMS Devices

著者

和文:	寺西美波, Chang Tso-Fu Mark, 陳君怡, 山根大輔, 町田克之, 益一哉, 曽根正人.
英文:	Minami Teranishi, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2017年6月18日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	21th International Conference on Solid State Ionics

開催地

和文:
英文:	Padua