Formation of (111) orientation-controlled ferroelectric orthorhombic HfO2 thin films from solid phase via annealing

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Formation of (111) orientation-controlled ferroelectric orthorhombic HfO2 thin films from solid phase via annealing

著者

和文:	三村和仙, Kiliha Katayama, 清水荘雄, 内田寛, 木口賢紀, Akihiro Akama, Toyohiko J. Konno, 坂田修身, 舟窪浩.
英文:	Takanori Mimura, Kiliha Katayama, Takao Shimizu, Hiroshi Uchida, Takanori Kiguchi, Akihiro Akama, Toyohiko J. Konno, Osami Sakata, Hiroshi Funakubo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Appl. Phys. Lett.

巻, 号, ページ

vol. 109 pp. 052903-1-4

出版年月

2016年8月4日

出版者

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会議名称

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開催地

和文:
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DOI