A Study on Young’s Modulus of Electroplated Gold Cantilevers for MEMS Devices

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A Study on Young’s Modulus of Electroplated Gold Cantilevers for MEMS Devices

著者

和文:	中島英亮, Chang Tso-Fu Mark, 陳君怡, 小西敏文, 町田克之, 山根大輔, 益一哉, 曽根正人, 曽根正人.
英文:	Hideaki Nakajima, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Masato Sone.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of the 12th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems

巻, 号, ページ

pp. 264 - 267

出版年月

2017年8月15日

出版者

和文:
英文:	IEEE Conference Publications

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: