Long-Term Vibration Test and Structure Stability of Ti/Au Micro-Cantilever as MEMS Components

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Long-Term Vibration Test and Structure Stability of Ti/Au Micro-Cantilever as MEMS Components

著者

和文:	橘航一朗, 陳君怡, Chang Tso-Fu Mark, 山根大輔, 小西敏文, 町田克之, 益一哉, 曽根正人.
英文:	Koichiro Tachibana, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2017年11月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	IUMRS International Conference in Asia (IUMRS-ICA) 2017

開催地

和文:
英文:	Taipei