A Tri-axis MEMS Accelerometer With a Gold Electroplated Single-proof-mass and Segmented Electrodes

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A Tri-axis MEMS Accelerometer With a Gold Electroplated Single-proof-mass and Segmented Electrodes

著者

和文:	乙部翔太, 山根大輔, 小西敏文, 佐布晃昭, 伊藤浩之, 道正志郎, 石原昇, 町田克之, 益一哉.
英文:	Shouta Otobe, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2017年9月19日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2017 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2017)

開催地

和文:	宮城県
英文:	Miyagi

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