Enhancement in Structure Stability of Gold Micro-Cantilever by Constrainted Fixed-End in MEMS devices

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Enhancement in Structure Stability of Gold Micro-Cantilever by Constrainted Fixed-End in MEMS devices

著者

和文:	寺西美波, 陳君怡, Chang Tso-Fu Mark, 小西敏文, 町田克之, 山根大輔, 益一哉, 曽根正人.
英文:	Minami Teranishi, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Masato Sone.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Microelectronic Engineering

巻, 号, ページ

Vol. 187-188 pp. 105-109

出版年月

2018年4月1日

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI